非接触电容位移传感器的主要参数和描述：
非接触DWS型超精密位移传感器
- 本产品既能测量频率从0--7.5KHz的机械振动位移,又可测量小至0.00２微米的机械位移和零件尺寸.测量是非接触的,故特别适合一般仪器不能胜任的旋转轴式或不受力的小型.线型.薄壁或怕划伤的精密零部件的静态,动态和在线测量.曾获得国际尤里卡发明奖.国家发明奖.国家科技进步奖
主要技术指标;
1.量程;(平面,圆柱面) 6微米 60微米 600微米 6000微米 (球面) 6微米 60微米 2.分辨率; 0.002微米 0.02微米 0.2微米 2微米
3.测量频率范围; 0--7.5KHz或0--2.5Hz(转换)
4.非线性; <+0.5% 5.温漂;0.5%/h(开机预热20分钟) 6.工作温度;-10--+80度
7.输出信号; + 5.1V 20MA 8.电源; ~220V 50Hz
仪器应用举例;
1.旋转轴的径向跳动,轴向窜动和回转精度
2.往复机构的运动特性和重复定位精度
3正弦波激振和抹脉冲激振中振动测量
4机械零部件的相对振动和变形
5盘类零部件的端面振摆动
6轴承间隙和油膜厚度
7线切割机床的电极丝的振动
8机床主轴热位移与动态加载试验测量
9检测零部件尺寸和平直度
仪器配有DB型九路自动巡回检测仪,可实现一机多点测量. 传感器能自动微调测量初始间隙,安装方便,操作简单,适宜测量多种材料,适应高压.高磁场等恶劣环境
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